振動盤/六英寸藍膜擴晶
10型 0.254mmX0.254mmX0.1mm
散料/藍膜/華夫盒/自粘盒/編帶
成熟傳統算法框架+AI檢測技術
2面/6面/7面外觀檢測
識别精度≥10μm
并聯電容Cp
重複性精度10pF以(yǐ)上(shàng)≤±0.3%、10pF以(yǐ)下≤±0.03pF
重複性精度≤±0.001
可測量值>1TΩ,重複性精度≤20%
藍膜
擺盤角度偏差≤5°、擺盤最小間距0.1mm
單邊間隔≥0.03mm
≥97%
設備空轉UPH
60K
實時(shí)數據監控統計、檢測數據保存、導出(chū)等功能
三相380V/0.5Mpa±0.1Mpa